摘要：本研究以高純W與Al2O3為靶材,在常溫下采用磁控濺射法在鈉鈣硅玻璃表面交替鍍制了W及Al2O3納米多層膜。在多層膜總厚度相同的條件下,研究了不同W/Al2O3周期厚度對隔熱性能的影響。采用臺階儀、掃描電鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)、場發射透射電鏡(TEM)等對多層膜的形貌及結構進行了表征。采用瞬態熱反射法(TTR)、納米壓痕儀分別分析了多層膜的隔熱性能和力學性能。結果表明,實驗沉積的多層膜中各單層均勻連續,不存在斷層現象,且層間界面清晰。Al2O3膜層呈非晶形態,W膜層具有亞穩態β-W(210)的擇優取向,并在周期厚度為5 nm時呈現明顯的非晶態。隨著膜層界面密度的增大,多層膜的熱阻增大,熱導率減小,硬度增大。周期厚度為5 nm、膜層數為41層的W/Al2O3多層膜具有較為優異的隔熱性能與力學性能,其熱阻為3.14×10^-7 m^2·K·W^-1,有效熱導率為0.36 W·m^-1·K^-1,硬度為8.53 GPa,膜/基結合力為42.20 mN。所制備的多層膜在室溫到500℃之間具有良好的熱穩定性。