摘要：微電子封裝設備是結構復雜和制造精度高的電子工藝裝備,設備運行過程中產生大量數據,數據采集是設備智能化發展的基礎。目前還無法獲取設備用戶現場的實時數據。重點論述了設備數據智能感知、傳輸網絡設計和數據管理與應用等技術,提出了可行的微電子封裝設備數據采集系統方案。采用先進的數據采集以及數據處理和挖掘技術,能大幅度提高設備采集數據的數量和質量。