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玻璃包覆銅電子漿料的制備及銅膜性能研究

張寶強; 王碩; 高春蘭; 楊德安 天津大學材料科學與工程學院; 教育部先進陶瓷與加工技術重點實驗室; 天津300350
  • 溶膠凝膠法
  • 玻璃包覆銅粉
  • 附著力
  • 方阻

摘要:為探究玻璃包覆量和共燒溫度對銅膜性能的影響,通過溶膠凝膠法制備玻璃包覆銅粉,并與有機載體混合制備銅漿。將銅漿印刷在玻璃/陶瓷基板上低溫共燒,制備銅膜/基板試樣。采用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)表征了銅膜的晶相和形貌。采用四探針法和拉伸法測定了銅膜的方阻和附著力。研究了玻璃包覆量和共燒溫度與銅膜晶相和顯微結構的關系,以及對銅膜方阻和附著力的影響。結果表明,在低溫共燒的過程中,沒有檢測到銅膜晶相的變化;當共燒溫度為920℃時,10wt%玻璃包覆銅粉制備的燒結銅膜,表面平整,導電性能好,方阻為8 mΩ/,附著力為4. 26 MPa;15wt%玻璃包覆銅粉制備的燒結銅膜,與基板結合緊密,方阻為10. 5 mΩ/,附著力為8 MPa。

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硅酸鹽通報

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