摘要：介紹了實驗室研制的微波電子回旋共振(ECR)等離子體陰極電子束系統及初步研究結果,該系統包括微波ECR等離子體源、電子束引出極、聚焦線圈等。通過測量水冷靶電流和靶上的束斑尺寸,實驗研究了微波ECR等離子體陰極電子束的流強、聚束性能等隨電子束系統工作條件的變化。結果表明:微波輸入功率越高、引出電壓越高,引出電子束流強越大;工作氣壓對電子束流強的影響較復雜,隨氣壓增加呈現出先降低后升高的特點;在7×10^-4Pa的極低氣壓下電子束流強可達75m A,引出電壓9kV;能量利用率可達0.6;調整聚焦線圈的驅動電流,電子束的束斑直徑從20mm減小到13mm,電子束流強未有明顯變化。