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多晶高效PERCT電池工藝研究
楊飛飛; 郭衛; 趙科巍; 張波; 苗杰 潞安太陽能科技有限責任公司; 山西長治046000
- perct
- 氮化硅
- 激光刻槽
- bsg
摘要：文章主要對高效PERRCT電池關鍵工序進行研究,針對每個工序的重要工藝點進行分析,找出合理的效率提升方向,經過反復測試驗證,確定了最優的工藝參數,效率綜合提升了0.2%。
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摘要：文章主要對高效PERRCT電池關鍵工序進行研究,針對每個工序的重要工藝點進行分析,找出合理的效率提升方向,經過反復測試驗證,確定了最優的工藝參數,效率綜合提升了0.2%。
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