摘要：Laue晶體單色器常用于單色化高能X射線(>50keV),通過對其晶片壓彎可以實現高能光束聚焦。晶片壓彎過程中會不可避免地產生扭曲,從而影響單色器的工作效率。利用波動光學仿真的方法,分析彎晶面形扭曲對Laue晶體單色器性能的影響,并提出一種角位移微調軸角裝置,用來消除這種扭曲。該裝置基于直梁型柔性鉸鏈,利用疊加原理和對稱結構。利用有限元方法分析了該裝置的力學性能。分析結果表明,軸角裝置的轉角范圍為±2°時,其轉動中心最大偏移為20μm,實現了角位移分辨率好于1″,動態范圍達到104,達到設計目標。