摘要：以SU-8負性光刻膠為原料,采用傳統光刻法制備微型柱子結構,在此基礎上利用商用疏水二氧化硅微球,通過液相沉積法來制備微型柱子分級結構。為了增加上述結構的超疏水性,以全氟辛基三氯硅烷為氟化劑,采用化學氣相沉積法對其表面進行了改性。用電子掃描電鏡表征了微型柱子和微型柱子分級結構表面的形貌,發現后者的粗糙度較前者增加了。通過測量水滴在表面的接觸角和滾動角,比較了不同結構表面的疏水性能。測試了不同結構表面在萊茵衣藻培養液中的防污效果來研究其疏水性能對生物防污效果的影響。實驗結果表明,氟化后的微型柱子和微型分級柱子表面均具有優良的超疏水性能,水滴在兩表面上的接觸角均高于150°,滾動角均小于10°;在微型柱子結構表面引入分級結構后,極大地提高了表面的疏水性能,使水滴在表面的接觸角提高7°,滾動角降低4°;表面疏水性能的提高有助于延長表面的生物防污效果。