摘要：為研究氮化硅微金字塔結構化薄膜的分光特性,使用單點金剛石切削制備微金字塔結構,結合納米壓印技術制備氮化硅微金字塔結構薄膜,對其透射率與散射進行檢測。通過對底面角度可變的氮化硅微金字塔結構化薄膜的近場光場分布展開仿真分析與實驗研究,基于射線追蹤方法建立數值仿真模型分析結構化薄膜的近場光場分布。研究結果表明:通過調整切削方向實現對微金字塔結構陣列底面角度0°~90°的控制,檢測結果證明薄膜光學微金字塔結構化薄膜可以實現對光束傳播方向與能量分布的調制,改變微金字塔結構的底面角度,可以讓光波按照底角的設計傳播,這一現象為微光電系統的光路設計提供了更廣的自由度。