摘要：針對傳統氣體放電式等離子體發生器電源效率不高、使用壽命有限等問題,提出了一種零電壓軟開關高頻高壓低溫等離子體發生方法,并設計了一個高效率低損耗的高頻高壓低溫等離子體發生系統。該系統通過移相全橋軟開關控制電路提供控制信號,光耦隔離電路降低強電干擾,在零電壓軟開關驅動下,經高頻諧振升壓電路對輸入信號升壓,實現低溫等離子體的穩定發生。實驗結果表明,系統工作頻率穩定在262kHz,系統能夠穩定發生低溫等離子體,等離子體束長可達13.1cm,系統工作穩定后,零電壓軟開關系統的效率為87.4%,與傳統直流等離子體發生炬最高77%效率相比,提高了10.4%,實現了驅動管耗的降低和輸入電源效率的提升。