《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》出版語言：English，具體論文語言需根據相關征稿要求而定，可聯系雜志社或在線客服。
該雜志是一本由AVS Science and Technology Society出版的國際知名學術期刊，出版語言：English，專注于Materials Science-Materials Chemistry領域，重點介紹Materials Science-Materials Chemistry的最新關鍵主題。每篇文章都是對該主題的最新、完整的總結，方便尚未深入研究的人閱讀。
1983年，《真空科學技術雜志》A和B兩種期刊在原《真空科學與技術雜志》拆分后創刊。JVSTA致力于發表關于材料、薄膜和等離子體界面和表面的原創研究報告、信件和評論文章。JVSTA發布的報告在基礎層面推進了對界面和表面的基本理解，并利用這種理解來推進各種技術應用的最新進展。
此外，關于《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》的數據統計如下：
（2）Cite Score（2024年最新版）
Cite Score（2024年最新版）
- CiteScore：2.7
- SJR：0.328
- SNIP：0.702
| 學科類別 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 大類：Engineering 小類：Electrical and Electronic Engineering | Q3 | 448 / 797 |
43%
|
| 大類：Engineering 小類：Materials Chemistry | Q3 | 192 / 317 |
39%
|
| 大類：Engineering 小類：Instrumentation | Q3 | 86 / 141 |
39%
|
| 大類：Engineering 小類：Surfaces, Coatings and Films | Q3 | 82 / 132 |
38%
|
| 大類：Engineering 小類：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 178 / 284 |
37%
|
| 大類：Engineering 小類：Process Chemistry and Technology | Q3 | 47 / 73 |
36%
|
CiteScore：該指標由Elsevier于2016年提出，指期刊發表的單篇文章平均被引用次數。CiteScorer的計算方式是：例如，某期刊2022年CiteScore的計算方法是該期刊在2019年、2020年和2021年發表的文章在2022年獲得的被引次數，除以該期刊2019年、2020年和2021發表并收錄于Scopus中的文章數量總和。
（3）在中科院分區表中，大類學科中工程技術為：4區，小類學科中ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONICMaterials Science-Materials Chemistry：4區
中科院分區信息
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2023年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
|
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2022年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
|
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2021年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
|
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2021年12月基礎版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
|
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2021年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
|
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2020年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
|
4區
4區
4區
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否 | 否 |
中科院JCR期刊分區（又稱分區表、分區數據）是中國科學院文獻情報中心世界科學前沿分析中心的科學研究成果。在中科院期刊分區表中，主要參考3年平均IF作為學術影響力，最終每個分區的期刊累積學術影響力是相同的，各區的期刊數量由高到底呈金字塔式分布。
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